名稱 |
X軸 |
Y軸 |
行程 |
300mm |
300mm |
速度 |
500mm/s |
500mm/s |
加速度 |
1g |
1g |
平面度 |
±1.5μm |
±1.5μm |
直線度 |
±2.5μm |
±2.5μm |
正交 |
±5arcsec |
±5arcsec |
重復定位精度 |
0.2μm |
0.2μm |
定位精度(補償后) |
1μm |
1μm |
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