名稱 |
X軸 |
Y軸 |
行程 |
200mm |
200mm |
分辨率 |
1nm |
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定位精度 |
±0.5μm |
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重復(fù)定位精度 |
±0.1 μm |
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直線度 |
±1.5 μm |
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平面度 |
±1.5μm |
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正交性 |
5 arc sec |
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速度穩(wěn)定性 |
±0.1%100mm/s |
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反饋噪聲 |
±15nm |
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最大速度 |
200mm/s |
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最大加速度 |
0.5g |
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最大負(fù)載 |
20kg |
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A |
473mm |
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B |
426mm |
|
C |
117.5mm |
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