雙軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái),滿足高速度,高加速度,高精度的產(chǎn)品定制需求,適用于玻璃薄片檢測(cè)、LED封裝檢測(cè)、激光加工、屏幕檢測(cè),三維形貌等高端制造業(yè)。
名稱 |
X軸 |
Y軸 |
行程 |
200mm |
300mm |
最大速度 |
500mm/s |
500mm/s |
最大加速度 |
1g |
1g |
分辨率 |
100nm |
100nm |
平面度 |
±1μm |
±1μm |
直線度 |
±1μm |
±1μm |
定位精度(補(bǔ)償后) |
±1μm |
±1μm |
重復(fù)定位精度 |
0.2μm |
0.2μm |
垂直度 |
±4arcsec (X軸與Y軸垂直度) |
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