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三軸精密運(yùn)動臺

[ 時間：2022-08-31 10:08:19 ]

詳細(xì)信息

產(chǎn)品用途:

結(jié)構(gòu)緊湊的三軸精密運(yùn)動臺，廣泛應(yīng)用于精密加工，測試測量，掃描、半導(dǎo)體及光子學(xué)對準(zhǔn)等行業(yè)，精度高和結(jié)構(gòu)緊湊是行業(yè)內(nèi)的較好選擇。

產(chǎn)品特性：

? X、Y、Z工作臺，直線電機(jī)驅(qū)動；
?亞微米級重復(fù)定位精度；
?最大速度1000mm/s,最大加速度2g;
? 超短建立時間，1.5mm步進(jìn)，建立時間5ms，收斂到50nm;
? X、Y兩軸正交性可達(dá)±3.0arcsec;
?高精度導(dǎo)軌導(dǎo)向，光柵尺編碼反饋。

技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品類型	HJYZ-0300-0200-005	HJYZ-0400-0300-005
行程	300mm x 200mm x 5mm	400mm x 300mm x 5mm
分辨率	0.3nm	0.3nm
定位精度	0.5μm	0.5μm
重復(fù)定位精度	±0.1μm	±0.1μm
直線度	3μm	3μm
平面度	3μm	3μm
橫滾	±3arcsec	±3arcsec
俯仰	±3arcsec	±3arcsec
偏航	+3arcsec	±3arcsec
最大速度	1000mm/s	1000mm/s
最大加速度	2g	2g
最大負(fù)載	10kg	10kg
A	650mm	750mm
B	600mm	700mm
C	255mm	255mm