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五軸精密運動臺
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五軸精密運動臺

[ 時間：2022-08-31 09:08:57 ]
五軸精密運動臺}
  • 詳細信息

  產(chǎn)品用途:

  五軸聯(lián)動精密運動臺，滿足高速度、高加速度、高精度的產(chǎn)品定制需求。適用于玻璃薄片檢測、 玻璃切割、激光加工、屏幕檢測、三維形貌等高端制造業(yè)。

  產(chǎn)品特性：

  ?  X、Y、Z、B、C五軸聯(lián)動，保證高速度高加速度和亞微米級精度；
  ?  X、Y、Z直線電機驅(qū)動，B、C直驅(qū)DD馬達驅(qū)動，
  ?  Z軸直線電棚驅(qū)動配備平衡氣缸，斷電保護；
  ?  最大速度1000mm/s;
  ?  高精度光柵尺反饋。

  技術(shù)參數(shù)：

名稱

X軸

Y軸

Z軸

B軸

c軸

行程

230mm

200mm

200mm

±100°

Nx360°

最大速度

1000mm/s

1000mm/s

1000mm/s

200rpm

200rpm

雙向定位精度

1.2μm

1.2μm

1.2μm

12arcsec

12arcsec

雙向重復定位精度

0.5μm

0.5μm

0.5μm

7arcsec

7arcsec

直線度

2.5μm

2.5μm

2.5μm

3μm （徑向跳動）

3μm（徑向跳動）

平面度

2.5μm

2.5μm

2.5μm

3μm （軸向跳動）

3μm （軸向跳動）


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