精密運(yùn)動(dòng)臺(tái).webp "三軸龍門(mén)精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)}")
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產(chǎn)品類型 |
HJCS-0250-0250-0150 |
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名稱 |
X |
Y |
Z |
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行程 |
250mm |
250mm |
150mm |
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分辨率 |
100nm |
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定位精度 |
±1μm |
±3μm |
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重復(fù)定位精度 |
±0.5μm |
±1μm |
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直線度 |
±2μm |
±3μm |
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平面度 |
±3μm |
±3μm |
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最大速度 |
200mm/s |
200mm/s |
100mm/s |
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最大加速度 |
0.5g |
0.5g |
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最大負(fù)載 |
25kg |
16kg |
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A |
1140mm |
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B |
1180mm |
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|
C |
805mm |
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