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大尺面多軸精密運動平臺2

[ 時間：2022-08-31 10:08:43 ]

詳細信息

產(chǎn)品用途:

激光切割偏光片、去廢設(shè)備stage工作臺，應(yīng)用于12-27英寸TFT-LCD顯示面板切割。

產(chǎn)品特性：

?設(shè)備滿足X+Y方向的位移運動，可實現(xiàn)X、Y高精度的步進掃描、切割運動；
? X、Y采用高精度直線導(dǎo)軌、花崗巖大理石基座，低摩擦，保證了運動平面度和直線度；
?有鐵芯直線電機驅(qū)動，大推力，高負載，滿動穩(wěn)定性；
?高分辨率光柵系統(tǒng)作位置反饋。

技術(shù)參數(shù)：

名稱	X1軸	X2軸	Y軸
速度	800mm/s	1000mm/s	1000mm/s
加速度	1g	1g	1g
行程	525mm	795mm	1550mm
重復(fù)疋位精度	±2μm	±2μm	±2μm
定位精度	±3μm	±3μm	±3μm
分辨率	0.1μm	0.1μm	0.1μm
直線度	±3μm/m	±3μm/m	±3μm/m
負載	30kg	40 kg	100kg
XY正交	±3 μm/m		-

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