行程 |
200mm |
300mm |
400mm |
500mm |
平臺(tái)長度 |
440mm |
540mm |
640mm |
740mm |
安裝孔長度 |
按照需求定制 |
|||
安裝孔數(shù)量 |
定制 |
|||
最大速度 |
100mm/s |
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最大加速度 |
0.5g |
|||
分辨率 |
100μm |
|||
平面度 |
±2μm |
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直線度 |
±1.5 μm |
|||
定位精度(補(bǔ)償后) |
±1μm |
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重復(fù)定位精度 |
±1μm |
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